淄博國家高新區MEMS研究院于2010年由淄博高新區與清華大學機械工程學院合作共建，致力于建設運營國內首條6英寸硅基MEMS中試代工線，引進培養MEMS專業人才，推進MEMS技術和產品在淄博的研發與產業化，帶動我國MEMS產業及其相關的先進制造、電子信息和新材料等產業的跨越式發展。
  研究院聘請中國工程院院士尤政教授擔任名譽院長，設有“精密測試技術及儀器國家重點實驗室MEMS分實驗室”、“清華大學微米納米技術研究中心MEMS分中心”和“智能微系統教育部重點實驗室MEMS分實驗室”等機構，可提供MEMS器件設計、中試、代工和檢測分析等專業服務，并具備知識產權、標準化等公共服務。
  為推動MEMS科技成果轉化，研究院投資組建了國有控股公司——山東博華電子科技發展有限公司。公司集中了國內專業從事MEMS工藝和傳感器設計的專家人才，專門從事MEMS微型傳感器的研發與生產。